まだ続く半導体微細化、最終到達点は「究極のトランジスタ」CFET

　「ラピダスもいずれ乗り越えなければならない技術になる」。国策ファウンドリーRapidus（ラピダス、東京・千代田）の関係者がこう見据えるのは、次世代のトランジスタ構造「CFET」である。1nm世代プロセスを担う「GAAの次世代技術」として、エッチング装置や制御技術の発展が進む。