デンソーがコスト半減のSiCウエハー新製法、8インチ化も視野

全般

　デンソーは、SiCウエハーのコストを半減できる新しい技術を開発した。「ガス成長法」と呼ばれる手法である。既に口径150mm（6インチ）まで試作済みで、200mm（8インチ）化も視野に入れている。...

2023.09.21

　デンソーは、SiCウエハーのコストを半減できる新しい技術を開発した。「ガス成長法」と呼ばれる手法である。既に口径150mm（6インチ）まで試作済みで、200mm（8インチ）化も視野に入れている。